Σύμφωνα με το άρθρο 5 του εσωτερικού κανονισμού του Δ.Π.Μ.Σ. η διάρκεια σπουδών είναι τρία (3) εξάμηνα. Κατά την διάρκεια των δύο πρώτων εξαμήνων οι φοιτητές θα παρακολουθούν 6 υποχρεωτικά και 2 επιλογής υποχρεωτικά μαθήματα, ενώ το τελευταίο εξάμηνο διατίθεται για την εκπόνηση της μεταπτυχιακής εργασίας σε ένα από τα συνεργαζόμενα εργαστήρια.
Τα μαθήματα που κατ’ αρχήν έχουν εγκριθεί για διδασκαλία στο Δ.Π.Μ.Σ. είναι :
| α/α | Τίτλος μαθήματος | ECTS | Τύπος |
| 1ο Εξάμηνο | |||
| 1 | Condensed Matter and Semiconductor Physics (Φυσική Συμπυκνωμένης Ύλης και Ημιαγωγών) | 7.5 | Υποχρεωτικά |
| 2 | Chemistry of Materials (Χημεία Υλικών) | 7.5 | |
| 3 | Journal Club & Research Skills (Ανάπτυξη Προσωπικών Δεξιοτήτων στις Επιστήμες) | 7.5 | |
| 4 | Υποχρεωτικό Μάθημα Επιλογής | 7.5 | Επιλογής |
| Σύνολο εξαμήνου | 30 | ||
| 2ο Εξάμηνο | |||
| 1 | Energy Devices (Ενεργειακές Διατάξεις) | 7.5 | Υποχρεωτικά |
| 2 | Devices Processing Techniques and Characterization Methods (Lab course) (Τεχνικές Ανάπτυξης και Χαρακτηρισμού Διατάξεων) | 7.5 | |
| 3 | Nanomaterials for Energy (Νανοϋλικά για Ενεργειακές Εφαρμογές) | 7.5 | |
| 4 | Υποχρεωτικό Μάθημα Επιλογής | 7.5 | Επιλογής |
| Σύνολο εξαμήνου | 30 | ||
| 3ο εξάμηνο | |||
| 1 | Master Thesis – Συγγραφή – Παρουσίαση της Διπλωματικής Εργασίας | 30 | Υποχρεωτικό |
| Σύνολο εξαμήνου | 30 | ||
| Υποχρεωτικά Μαθήματα Επιλογής | |||
| 1 | Photonic Processes for Energy Devices (Φωτονικές Διεργασίες Ενεργειακών Διατάξεων) | 7.5 | |
| 2 | Graphene & Related 2D Materials (Γραφένιο και Υλικά 2 Διαστάσεων) | 7.5 | |
| 3 | Numerical Methods in Energy Devices (Αριθμητικές Μέθοδοι σε Ενεργειακές Διατάξεις) | 7.5 | |
| 4 | Technology Exploitation (Εκμετάλλευση της Τεχνολογίας) | 7.5 | |
| 5 | From molecules to materials – Pathways to Artificial Photosynthesis (Βασικές Αρχές Τεχνητής Φωτοσύνθεσης) | 7.5 | |
| 6 | Electrical Energy Systems (Ηλεκτρικά Ενεργειακά Συστήματα) | 7.5 | |